微量水分測定儀也叫露點儀、冷鏡露點儀、鏡面露點儀等等是能直接測出露點溫度的儀器。使一個鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現露滴（或冰晶）的剎時，測出鏡面平均溫度，即為露點（霜）溫度。它測濕精度高，但需光亮度很高的鏡面，精度很高的溫控系統，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學探測系統。運用時必需使吸入樣本空氣的管道維持清潔，否則管道內的雜質將吸取或放出水分形成測量誤差。

微量水分測定儀（濕度儀器）測量的辦法堪稱五花八門，其性能與價錢也截然不同，這就要求我們選用儀器時要嚴慎小心，不僅要思考到性能和價錢，還應該思考到儀器運用的場所和所測氣體的品種及侵蝕性等。總體準則如下：

1.濕度基準：思考到要求測量zhun確度高，樣氣理想，通常應選用冷鏡式露點儀。

2.企業基準或試驗室分析：假如測量zhun確度要求較高，可選用冷鏡法儀器。

3.現場檢測：假如測量zhun確度要求較高，可選用冷鏡法儀器（同上）。

4.持續在線監測：假如精度要求不太高，可選用阻容法儀器。

5.氣體空分行業露點測量：我們清楚空分行業，通常要求水分含量很低，露點在-70℃以下（1ppm級別），原理上說冷鏡式微量水分測定儀、電解法露點儀、薄膜露點儀都沒法對低于-80℃的氣體實行測量，所以還是選用電容法原理的露點儀較適合。

6.天然氣防爆測量：在石化和天然氣行業，我們都要求防爆處理，所以須要有特定本安防爆的露點儀。